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    電子行業廢氣治理

    來源: 網責任編輯:admin 閱讀量:1608 發表時間:2020-01-10

    在電子行業中造成環境污染的有害氣體,主要來源于芯片或者是線路板生產的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中。電子行業廢氣主要為有機廢氣和酸堿廢氣兩類。有機類有:非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等;酸堿類有:氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。這些污染氣體會造成人群慢性或急性中毒。所以必須治理達標才能排放。

    一般來說,廢氣排放中風量較大,VOCs濃度較低。電子工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點。電子工業廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。

    揮發性有機物(VOCs)排放量大、濃度低、成分復雜,常見有機廢氣治理方法如:焚燒、吸附、冷凝、生物膜法、低溫等離子、光催化氧化等,單獨運用或無法達成經濟高效運行,或不能滿足嚴苛的排放標準。

    電子行業廢氣治理


    電子行業廢氣治理工藝

    電子行業廢氣治理

    電子行業廢氣治理


    高溫等離子焚燒

    高溫等離子焚燒技術是高頻(30KHz)高壓(100KV)大功率電源在特定條件下的聚能放電,產生3千℃等離子態高溫氣流。

    有機廢氣在反應器中經過壓縮、高壓聚能放電成為高溫等離子體。反應器壓力增高,氣體體積急劇膨脹,在高溫、高電勢的雙重作用下,有機廢氣瞬間(萬分之5秒)成為高溫等離子體,其中長分子鏈裂解成單質原子,有機物清除率大于98%。

    高溫等離子焚燒裝置無需濃縮,便可直接處理低濃度、大風量有機廢氣。每處理1萬立方米/小時有機廢氣,僅消耗10kW電力。

    從資金投入和營運成本考量,高溫等離子焚燒方案要優于濃縮吸附+RTO焚燒方案。

    高溫等離子焚燒”技術優勢

    ● 模塊化設計,配置靈活,經濟高效,可處理從幾百立方到幾十萬立方不同濃度、流量的有機廢氣。

    ● 無需預熱,即開即用。

    ● 能效比高,高溫等離設備廢氣排放口溫度,比進氣口溫度僅提高幾十度。能夠處理高濃度、成分復雜、易燃易爆及含有水分、固態、油狀物的工業廢氣,實現達標排放。

    ● 風阻小,能耗低,不消耗天然氣,無碳排放問題。沒有閥門等運動部件,能夠無故障,不間斷運行上萬小時。

    ● 苯并芘、二惡英等難以處理的物質,瞬間分解,實現達標排放。



    電子行業廢氣治理流程

    有機廢氣污染治理


    01

    現場勘查

    污染源現場勘查


    02

    頂層設計

    統籌規劃以有效資源高效實現目標


    03

    解決方案

    制定一企一策一方案


    04

    設備安裝

    根據國家標準進行設備安裝調試


    05

    程驗收

    對項目質量排放進行檢測驗收


    06

    專家評審

    專家組評審協助企業申報排污許可證


    07

    營運服務

    對項目驗收后維護營運



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